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激光干涉儀其主要功能分別有哪些呢?
更新時(shí)間:2022-03-29   點(diǎn)擊次數(shù):1312次
 
  激光干涉儀是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量的儀器。隨著激光干涉儀測(cè)量技術(shù)的不斷提高,測(cè)量軟件的不斷開(kāi)發(fā)其測(cè)量范圍越來(lái)越廣泛,特別是在測(cè)量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途最為廣泛。其主要在:線(xiàn)形、角度、垂直度、直線(xiàn)度、平面度等方面上應(yīng)用。
  激光干涉儀是以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
  采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì),將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開(kāi),從而避免了干涉鏡受熱變形,用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤(pán)定位相連,從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線(xiàn)向后,使得干涉鏡不受影響,保證了測(cè)量準(zhǔn)確性。
  激光干涉儀的主要功能:
  1、可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
  2、可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等;
  3、可實(shí)現(xiàn)龍門(mén)機(jī)床雙軸同步測(cè)量;
  4、可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
  5、可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
  6、具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
  7、支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
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